在高純水的生產過程中，水中的陰、陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換樹脂技術等去除；水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除；水中的細菌，目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水應用的領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性、閾值電壓，導致低擊穿，產生缺陷，還影響材料的少子壽命，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。
天然水中溶解的氣體主要有O2、CO2、SO2和少量的CH4、氡氣、氯氣等，在高純水的生產過程中，還必需去除這類的氣體。為了有效的去除雜質，在生產高純水的過程中，加入了一些化學殺菌劑，如甲醛、雙氧水、次氯酸鈉等。這些都是為什么高純水不能作為飲用水的原因之一。
那么什么為純凈水呢？所謂純凈水是指其水質清純，不含任何有害物質和細菌，如有機污染物、無機鹽、任何添加劑和各類雜質，有效的避免了各類病菌入侵人體，其優點是能有效安全地給人體補充水份，具有很強的溶解度，因此與人體細胞親合力很強，有促進新陳代謝的作用。
它是采用離子交換法、反滲透法、精微過濾及其他適當的物理加工方法進行深度處理后產生的水。一般情況下純凈水在生產過程中，源水只有50%-75%被利用，也就是說，1公斤自來水或地下水大約只能生產出0.4公斤左右的純凈水，而剩下的0.6公斤左右的水不能當作飲用水，只能另作它用。
